三坐标丈量机的光栅尺是细致丈量设备，它的维护保养有关发展丈量精度有非常大功效。恰当清理光栅尺的方法及其清理过程时要留意的难题：首先用脱油棉球蘸无水酒精，手拿棉球从光栅尺的一端擦向另一端，随后更换这一棉球，用清洁棉球然后擦。
 

棉球不能不断应用，留意不能往返擦。擦的过程中尤其要留意的是不必碰读数头。因为读数头是用以载入光栅标尺的感应器，它的部位和与光栅的间距全是精确调节的。倘若发病转变会产生读数不正确，以至于不能起动系统，因此干万要留意；并且不必让棉球的纤维粘在长栅上，读数头有静电会吸咐纤维危害读数。

光栅尺不适合常常擦，一季度或大半年擦一次就可以了。有关的敞开式光栅尺，光栅尺表面有一层维护膜。倘若要清理它，可以用丝绒布蘸冷水轻擦；或是用无水乙醇来擦拭，但无水乙醇的品质一定要高，不能带有甲醇，甲醇是会浸蚀这层薄膜的。
 

绝不能用有浸蚀的溶剂如丙酮、甲苯，因为那样会严重损坏这层维护膜。这层维护膜可以使你很容易的用绵软的布擦拭掉，倘若重度的污染，比如长期沒有擦拭光栅尺，导致油渍粘的很牢，可以用正庚烷或是等保擦拭。恰当的清理方法不仅可以使它丈量精确，另外还可以增加它的寿命。